Titel :
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DEU-Dresden - Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte Beschaffung Reactive Ion Etching System
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Dokument-Nr. ( ID / ND ) :
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2025050201051603333 / 284386-2025
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Veröffentlicht :
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02.05.2025
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Anforderung der Unterlagen bis :
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31.12.2025
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Angebotsabgabe bis :
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02.06.2025
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Dokumententyp :
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Ausschreibung
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Produkt-Codes :
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31712100 - Mikroelektronische Maschinen und Geräte
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DEU-Dresden: Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Beschaffung Reactive Ion Etching System
2025/S 85/2025 284386
Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte Beschaffung Reactive Ion Etching
System
OJ S 85/2025 02/05/2025
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferungen
1. Beschaffer
1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe
E-Mail: Matthias.schmidtke@cpfs.mpg.de
Rechtsform des Erwerbers: Gruppe öffentlicher Stellen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1. Verfahren
Titel: Beschaffung Reactive Ion Etching System
Beschreibung: Gegenstand der Ausschreibung ist die Beschaffung, Lieferung und Installation
eines Reactive Ion Etching Systems (RIE).
Kennung des Verfahrens: 37ffec1a-be1a-445f-ac9e-3631c8fd4cdf
Interne Kennung: MPG_MPICPFS-2025-0008
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
2.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Nöthnitzer Str. 40
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4. Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6. Ausschlussgründe
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften:
Korruption:
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung:
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen:
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung:
Betrugsbekämpfung:
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels:
Zahlungsunfähigkeit:
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen:
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter:
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen
Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.:
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren:
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens:
Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit:
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen:
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen:
Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge:
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit:
Entrichtung von Steuern:
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten:
5. Los
5.1. Los: LOT-0000
Titel: Beschaffung Reactive Ion Etching System
Beschreibung: Reaktives Ionenätzen (RIE) ist ein etabliertes Verfahren zur präzisen
Strukturierung von Materialien im Nanometerbereich und spielt für unser Institut eine zentrale
Rolle in der Bearbeitung zweidimensionaler Materialien. Für unsere geplanten
Forschungsarbeiten im Bereich 2D-Materialien benötigen wir ein RIE-System, das ein
kontrolliertes, anisotropes Ätzen mit hoher Selektivität und Prozessstabilität ermöglicht. Der
zukünftige Einsatzschwerpunkt liegt auf der beschädigungsfreien Strukturierung von
empfindlichen, einschichtigen Proben sowie der Übertragung lithografischer Maskenmuster
auf nanoskaliger Ebene. Ziel ist es, durch den Einsatz von RIE unter anderem
Elektrodenstrukturen auf 2D-Materialien mit hoher Prä-zision und Reproduzierbarkeit
herzustellen.
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
5.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Nöthnitzer Str. 40
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.3. Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 09/06/2025
Enddatum der Laufzeit: 31/12/2025
5.1.6. Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten
Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9. Eignungskriterien
Kriterium:
Art: Eignung zur Berufsausübung
Kriterium:
Art: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Kriterium:
Art: Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.tender24.de/NetServer
/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19662ce59b6-
73839a61a1e261db
5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Zulässig
Adresse für die Einreichung: https://www.tender24.de
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch,
Englisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 02/06/2025 11:00:00 (UTC+2) Eastern European Time,
Central European Summer Time
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: -
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 02/06/2025 11:00:00 (UTC+2) Eastern European Time, Central European
Summer Time
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Schlichtungsstelle: Regierungspräsidium München, Vergabekammer Südbayern
Überprüfungsstelle: Regierungspräsidium München, Vergabekammer Südbayern
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Max-
Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Max-
Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Max-Planck-Institut für Chemische
Physik fester Stoffe
TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts
des BMI)
8. Organisationen
8.1. ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe
Registrierungsnummer: DE129517720
Postanschrift: Nöthnitzer Str. 40
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf
E-Mail: Matthias.schmidtke@cpfs.mpg.de
Telefon: +4935146464601
Internetadresse: https://www.cpfs.mpg.de/de
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1. ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Regierungspräsidium München, Vergabekammer Südbayern
Registrierungsnummer: -
Postanschrift: Maximilian Str. 39
Stadt: München
Postleitzahl: 80538
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
E-Mail: poststelle@reg-ob.bayern.de
Telefon: +49 89-2176-0
Fax: +49 89-2176-2914
Internetadresse: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1. ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe
Registrierungsnummer: DE129517720
Postanschrift: Nöthnitzer Str. 40
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
E-Mail: Matthias.schmidtke@cpfs.mpg.de
Telefon: +4935146464601
Internetadresse: https://www.cpfs.mpg.de/de
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1. ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Regierungspräsidium München, Vergabekammer Südbayern
Registrierungsnummer: -
Postanschrift: Maximilian Str. 39
Stadt: München
Postleitzahl: 80538
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
E-Mail: poststelle@reg-ob.bayern.de
Telefon: +49 89-2176-0
Fax: +49 89-2176-2914
Internetadresse: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de
Rollen dieser Organisation:
Schlichtungsstelle
8.1. ORG-7007
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 7d16aa05-986f-4960-ac82-cebb72763556 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 30/04/2025 14:21:26 (UTC+2) Eastern
European Time, Central European Summer Time
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
ABl. S Nummer der Ausgabe: 85/2025
Datum der Veröffentlichung: 02/05/2025
Referenzen:
https://www.cpfs.mpg.de/de
https://www.regierung.oberbayern.bayern.de
https://www.tender24.de
https://www.tender24.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19662ce59b6-73839a61a1e261d
b
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202505/ausschreibung-284386-2025-DEU.txt
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